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3.氮化镓，分子式GaN，英文名称Galliumnitride，是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体，自1990年起常用在发光二极管中。此化合物结构类似纤锌矿，硬度很高。氮化镓的能隙很宽，为3.4电子伏特，可以用在高功率、高速的光电元件中，例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管，可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下，产生紫光（405nm）激光。氮化镓功率器件系列具有低的热产生率和高的击穿电场，是研制高温大功率电子器件和高频微波器件的重要材料。目前，随着MBE技术在氮化镓功率器件应用中的进展和关键薄膜生长技术的突破，成功地生长出了GaN多种异质结构。用氮化镓功率器件制备出了金属场效应晶体管（MESFET）、异质结场效应晶体管（HFET）、调制掺杂场效应晶体管（MODFET）等新型器件。调制掺杂的AlGaN／GaN结构具有高的电子迁移率（2000cm2／v·s）、高的饱和速度（1×107cm／s）、较低的介电常数，是制作微波器件的**材料；GaN较宽的禁带宽度（3.4eV）及蓝宝石等材料作衬底，散热性能好，有利于器件在大功率条件下工作。氮化镓功率器件系列是一种理想的短波长发光器件材料，GaN及其合金的带隙覆盖了从红色到紫外的光谱范围。自从1991年日本研制出同质结GaN蓝色LED之后，InGaN／AlGaN双异质结**亮度蓝色LED、InGaN单**阱GaNLED相继问世。目前，Zcd和6cd单**阱GaN蓝色和绿色LED已进入大批量生产阶段，从而填补了市场上蓝色LED多年的空白。以发光效率为标志的LED发展历程见图3。蓝色发光器件在高密度光盘的信息存取、全光显示、激光打印机等领域有着巨大的应用市场。
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